• 硅片烧结炉气体抽排装置的制作方法

    文档序号:16562562发布日期:2019-01-08 22:24
    硅片烧结炉气体抽排装置的制作方法

    本实用新型涉及硅片烧结炉技术领域,尤其是一种硅片烧结炉气体抽排装置。



    背景技术:

    目前在硅片的的烧结工艺中,硅片需要依次经烘干区、烧结区以及冷却区,烘干区通常为一端供给热风另一端连接燃烧塔的烘干炉腔,硅片在经过烘干区时,硅片上导电浆料中的有机物得以挥发,烘干炉腔中通入热风的目的在于对硅片进行烘干,并把硅片上导电浆料中挥发出的有机废气携带至燃烧塔中进行燃烧,硅片烘干后由输送装置将硅片输送至烧结炉腔中进行烧结;在实际生产时,发现烘干炉腔中存在有机废气随输送装置溢出的现象,而溢出的有机废气会扩散到车间内且容易进入到烧结炉腔中,一方面对车间的环境造成污染,另一方面随着长时间的使用有机废气会在烧结炉腔的内壁上凝结成油污,且一旦烧结炉腔中聚集的有机废气较多时,那么烧结炉腔内就会容易发生着火的风险。



    技术实现要素:

    本实用新型要解决的技术问题是:为了解决现有技术中烘干炉腔存在有机废气随输送装置溢出的现象,而溢出的有机废气会扩散到车间内且容易进入到烧结炉腔中,一方面对车间的环境造成污染,另一方面随着长时间的使用有机废气会在烧结炉腔的内壁上凝结成油污,且一旦烧结炉腔中聚集的有机废气较多时,那么烧结炉腔内就会容易发生着火的风险,现提供一种硅片烧结炉气体抽排装置。

    本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片烧结炉气体抽排装置,所述烧结炉包括用以输送硅片的输送线、烘干炉腔及烧结炉腔,所述输送线依次经过烘干炉腔及烧结炉腔,所述烘干炉腔顶部的两端分别设有废气燃烧塔和热气供应室,该气体抽排装置包括抽风机、开口朝下的吸风罩、吸风管及出风管,所述吸风罩设于烘干炉腔和烧结炉腔之间,所述输送线位于吸风罩的下方,所述烧结炉腔上靠近吸风罩的一侧腔壁上贯穿有缺口,所述吸风罩的左端穿过缺口位于烧结炉腔内,所述抽风机的吸风口通过吸风管与吸风罩的上端连通,所述出风管与抽风机的出风口连通。

    本方案中通过在烘干炉腔和烧结炉腔之间设置吸风罩,并在烧结炉腔靠近烘干炉腔的一侧开设缺口以便吸风罩伸入,然后启动抽风机,使吸风罩处产生吸力将烘干炉腔中溢出的有机废气吸除,以此避免烘干炉腔中溢出的有机废气聚集在烧结炉腔内及附着在烧结炉腔的内壁上产生油污,从而杜绝烧结炉腔中发生着火的风险,且解决了溢出的有机废气扩散在空气中所产生的环境污染的问题。

    进一步地,所述出风管与废气燃烧塔连通,通过出风管与废气燃烧塔连通,可将吸风罩处所收集的烘干炉腔中溢出的有机废气通入到废气燃烧塔进行燃烧处理。

    进一步地,所述热气供应室内设置有若干加热管,所述热气供应室的进口通过进气管与鼓风机连通,所述热气供应室的出口通过管道与烘干炉腔连通,所述进气管绕在吸风管的外壁上,由于吸风罩吸入的是烧结炉腔处的有机废气,因此与吸风罩相连的吸风管中的气体温度较高,从而利用将热气供应室的进气管绕在吸风管的外壁上,可实现进气管中的气体与吸风管中的气体进行换热,一方面使进气管中的气体温度升高,减少加热管将热气供应室内气体加热到指定温度所需的功率,提高能源利用率,另一方面降低了吸风管中气体的温度,从而减少气体因高温对抽风机所造成的损伤。

    本实用新型的有益效果是:本实用新型的硅片烧结炉气体抽排装置采用在烘干炉腔和烧结炉腔之间设置吸风罩,并在烧结炉腔靠近烘干炉腔的一侧开设缺口以便吸风罩伸入,利用抽风机使吸风罩处产生吸力将烘干炉腔中溢出的有机废气吸除,以此避免烘干炉腔中溢出的有机废气聚集在烧结炉腔内及附着在烧结炉腔的内壁上产生油污,从而杜绝烧结炉腔中发生着火的风险,且解决了溢出的有机废气扩散在空气中所产生的环境污染的问题。

    附图说明

    下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

    图1是本实用新型硅片烧结炉气体抽排装置的示意图。

    图中:1、输送线,2、烘干炉腔,3、烧结炉腔,3-1、缺口,4、废气燃烧塔,5、热气供应室,6、抽风机,7、吸风罩,8、吸风管,9、出风管,10、进气管,11、鼓风机,12、管道。

    具体实施方式

    现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成,方向和参照(例如,上、下、左、右、等等)可以仅用于帮助对附图中的特征的描述。因此,并非在限制性意义上采用以下具体实施方式,并且仅仅由所附权利要求及其等同形式来限定所请求?;さ闹魈獾姆段?。

    实施例1

    如图1所示,一种硅片烧结炉气体抽排装置,所述烧结炉包括用以输送硅片的输送线1、烘干炉腔2及烧结炉腔3,所述输送线1依次经过烘干炉腔2及烧结炉腔3,所述烘干炉腔2顶部的两端分别设有废气燃烧塔4和热气供应室5,该气体抽排装置包括抽风机6、开口朝下的吸风罩7、吸风管8及出风管9,所述吸风罩7设于烘干炉腔2和烧结炉腔3之间,所述输送线1位于吸风罩7的下方,所述烧结炉腔3上靠近吸风罩7的一侧腔壁上贯穿有缺口3-1,所述吸风罩7的左端穿过缺口3-1位于烧结炉腔3内,所述抽风机6的吸风口通过吸风管8与吸风罩7的上端连通,所述出风管9与抽风机6的出风口连通。

    所述出风管9与废气燃烧塔4连通,通过出风管9与废气燃烧塔4连通,可将吸风罩7处所收集的烘干炉腔2中溢出的有机废气通入到废气燃烧塔4进行燃烧处理。

    所述热气供应室5内设置有若干加热管,所述热气供应室5的进口通过进气管10与鼓风机11连通,所述热气供应室5的出口通过管道12与烘干炉腔2连通,所述进气管10绕在吸风管8的外壁上,由于吸风罩7吸入的是烧结炉腔3处的有机废气,因此与吸风罩7相连的吸风管8中的气体温度较高,从而利用将热气供应室5的进气管10绕在吸风管8的外壁上,可实现进气管10中的气体与吸风管8中的气体进行换热,一方面使进气管10中的气体温度升高,减少加热管将热气供应室5内气体加热到指定温度所需的功率,提高能源利用率,另一方面降低了吸风管8中气体的温度,从而减少气体因高温对抽风机6所造成的损伤。

    上述硅片烧结炉气体抽排装置的工作原理如下:

    鼓风机11通过进气管10为热气供应室5供气,热气供应室5内的加热管对其内的气体进行加热,并将热风供给烘干炉腔2,利用热风对烘干炉腔2中的硅片进行烘干,硅片上导电浆料所挥发出的有机废气会随热风一并进入到废气燃烧塔4进行燃烧;

    在硅片随输送线1从烘干炉腔2进入到烧结炉腔3中时,有机废气随输送线1溢出烘干炉腔2,并会扩散到车间内且进入到烧结炉腔3中,而烘干炉腔2及烧结炉腔3之间的吸风罩7在抽风机6的作用下会及时将烘干炉腔2中溢出的有机废气吸除,以此避免烘干炉腔2中溢出的有机废气聚集在烧结炉腔3内及附着在烧结炉腔3的内壁上产生油污,从而杜绝烧结炉腔3中发生着火的风险,且解决了溢出的有机废气扩散在空气中所产生的环境污染的问题。

    上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

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